(19)

(11)

EP 2 286 471 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 14.01.2010 (43) Veröffentlichungstag: 23.02.2011  Patentblatt  2011/08 (21) Anmeldenummer: 09741646.5 (22) Anmeldetag:  05.05.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 41/047(2006.01) H01L 41/22(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/CH2009/000141 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/135328 (12.11.2009 Gazette  2009/46)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 09.05.2008 CH 713082008 28.05.2008 CH 806082008 (71) Anmelder: EMPA 8600 Dübendorf (CH)	(72) Erfinder: DÜRING, Lukas CH-9246 Niederbüren (CH) KOVACS, Gabor CH-8165 Oberweningen (CH) (74) Vertreter: Stump, Beat  Stump & Partner AG Patentanwälte AG Dufourstrasse 116 8008 Zürich 8008 Zürich (CH)