(19)
(11) EP 2 286 641 A1

(12)

(43) Date de publication:
23.02.2011  Bulletin  2011/08

(21) Numéro de dépôt: 09753765.8

(22) Date de dépôt:  30.04.2009
(51) Int. Cl.: 
H05H 1/24(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2009/055264
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2009/144110 (03.12.2009 Gazette  2009/49)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL BA RS

(30) Priorité: 28.05.2008 EP 08305206

(71) Demandeur: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
75007 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • GUERIN, Daniel
    F-77500 Chelles (FR)
  • LARQUET, Christian
    F-78280Guyancourt (FR)
  • ROSTAING, Jean-Christophe
    F-78000 Versailles (FR)
  • MOISAN, Michel
    Outremont, Québec H2V 2Z1 (CA)
  • MOINE, Pascal
    F-74570 Groisy (FR)
  • DEPERT, Bruno
    F-38700 Corenc (FR)
  • LAURENT, Valère
    F-VILLARD BONNOT 38190 (FR)

(74) Mandataire: Grout de Beaufort, François-Xavier 
L'Air Liquide Direction Propriété Intellectuelle 75, quai d'Orsay
75321 Paris Cedex 07
75321 Paris Cedex 07 (FR)

   


(54) PROCEDE DE REFROIDISSEMENT D'UN PLASMA MICRO-ONDE ET SYSTEME DE DESTRUCTION SELECTIVE DE MOLECULES CHIMIQUES UTILISANT CE PROCEDE