(19)

(11)

EP 2 288 739 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.03.2011  Patentblatt  2011/09 (21) Anmeldenummer: 09731834.9 (22) Anmeldetag:  09.04.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/00(2006.01) C23C 28/00(2006.01) C23C 16/00(2006.01) C23C 30/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2009/002678 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/127373 (22.10.2009 Gazette  2009/43)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 18.04.2008 DE 102008019665 (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: FAHLTEICH, John 01279 Dresden (DE) FAHLAND, Matthias 01259 Dresden (DE) SCHÖNBERGER, Waldemar 01109 Dresden (DE) SCHILLER, Nicolas 01833 Stolpen OT Helmsdorf (DE)