(19)

(11)

EP 2 288 894 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.03.2011  Patentblatt  2011/09 (21) Anmeldenummer: 09745456.5 (22) Anmeldetag:  13.05.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01L 21/12(2006.01) H01L 31/18(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2009/000678 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/138072 (19.11.2009 Gazette  2009/47)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 14.05.2008 DE 102008024204 18.06.2008 DE 102008029028 (71) Anmelder: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH 14109 Berlin (DE)	(72) Erfinder: RODRIGUEZ-ALVAREZ, Humberto 13353 Berlin (DE) KÖTSCHAU, Immo 89143 Blau-Stein (DE)