(19)

(11)

EP 2 289 100 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 04.03.2010 (43) Veröffentlichungstag: 02.03.2011  Patentblatt  2011/09 (21) Anmeldenummer: 09765709.2 (22) Anmeldetag:  25.05.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/538(2006.01) H01L 21/48(2006.01) H01L 21/60(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2009/056286 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/153129 (23.12.2009 Gazette  2009/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 19.06.2008 DE 102008002532 (71) Anmelder: Robert Bosch GmbH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: SCHAAF, Ulrich 73667 Kaisersbach (DE) KUGLER, Andreas 73553 Alfdorf (DE)