(19)
(11) EP 2 294 239 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.03.2011  Patentblatt  2011/11

(21) Anmeldenummer: 09776618.2

(22) Anmeldetag:  15.05.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/00(2006.01)
C23C 14/35(2006.01)
C23C 16/40(2006.01)
C23C 16/54(2006.01)
 C23C 14/08(2006.01)
C23C 14/56(2006.01)
C23C 16/503(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/003479
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/003476 (14.01.2010 Gazette  2010/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 16.06.2008 DE 102008028542

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • FAHLAND, Matthias
    01259 Dresden (DE)
  • VOGT, Tobias
    02796 Kurort Johnsdorf (DE)
  • GÜNTHER, Steffen
    01309 Dresden (DE)
  • FAHLTEICH, John
    01279 Dresden (DE)
  • SCHÖNBERGER, Waldemar
    01109 Dresden (DE)
  • SCHÖNBERGER, Alexander
    01169 Dresden (DE)

   


(54) BESCHICHTUNGSVERFAHREN UND VORRICHTUNG MITTELS EINER PLASMAGESTÜTZEN CHEMISCHEN REAKTION