(19)

(11)

EP 2 294 612 A1

(12)

(43) Date de publication: 16.03.2011  Bulletin  2011/11 (21) Numéro de dépôt: 09757529.4 (22) Date de dépôt:  02.06.2009

(51) Int. Cl.:  H01L 21/98(2006.01) H01L 23/31(2006.01) H01L 25/065(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2009/056757 (87) Numéro de publication internationale: WO 2009/147148 (10.12.2009 Gazette  2009/50)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Etats d'extension désignés: AL BA RS (30) Priorité: 03.06.2008 FR 0853662 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeur: BRUN, Jean F-38800 Champagnier (FR) (74) Mandataire: Ilgart, Jean-Christophe  BREVALEX 95 rue d'Amsterdam 75378 Paris Cedex 8 75378 Paris Cedex 8 (FR)