(19)
(11) EP 2 295 813 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
19.08.2015  Patentblatt  2015/34

(43) Veröffentlichungstag A2:
16.03.2011  Patentblatt  2011/11

(21) Anmeldenummer: 10007376.6

(22) Anmeldetag:  16.07.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
 F04D 27/00(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME RS

(30) Priorität: 01.08.2009 DE 102009035812

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Aßlar (DE)

(72) Erfinder:
  • Bernhardt, Helmut
    35584 Wetzlar (DE)
  • Tatzber, Bernhard
    30305 Grünberg (DE)

(74) Vertreter: Manitz, Finsterwald & Partner GbR 
Postfach 31 02 20
80102 München
80102 München (DE)

   


(54) Turbomolekularpumpenrotor


(57) Die Erfindung betrifft einen Turbomolekularpumpenrotor mit in einer ersten (119; 219; 319; 419; 519) und zweiten Pumpstruktur (123; 223; 323; 423; 523), wobei jede Pumpstruktur geeignet und vorgesehen ist, mit einer statorseitigen Pumpstruktur (120, 124; 220, 224; 320, 324; 420, 424; 520, 523) eine Pumpstufe zu bilden. Um das Burstverhalten der Turbomolekularpumpe zu verbessern, wird vorgeschlagen, dass ein erstes Rotorteil (101; 201; 301; 401; 501) die erste Pumpstruktur und die zweite Pumpstruktur (123; 223; 323; 423; 523) umfasst und der Turbomekularpumpenrotor eine dritte Pumpstruktur (111, 115; 211, 215; 311, 315; 411, 415; 511, 515, 519) aufweist.







Recherchenbericht


















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