ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSKBAHRIS..MTNORSMESM..................JJDIM360 Ver 1.28 (29 Oct 2014) - 1620000/02295813EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNGA320150819EP10007376.620100716dedede10200903581220090801DE2015081920153420110316201111F04D 19/04 20060101AFI20150714BHEP F04D 27/00 20060101ALI20150714BHEP deTurbomolekularpumpenrotorenTurbomolecular pump rotorfrRotor de pompe turbo-moléculaire1Pfeiffer Vacuum GmbH100198175P10616PEPBerliner Strasse 4335614 AßlarDEBernhardt, HelmutAm Rabenbaum 3335584 WetzlarDETatzber, BernhardCondomer Strasse 3030305 GrünbergDEManitz, Finsterwald & Partner GbR100060401Postfach 31 02 2080102 MünchenDEALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTROSESISKSMTRBAMERS20150819201534

Die Erfindung betrifft einen Turbomolekularpumpenrotor mit in einer ersten (119; 219; 319; 419; 519) und zweiten Pumpstruktur (123; 223; 323; 423; 523), wobei jede Pumpstruktur geeignet und vorgesehen ist, mit einer statorseitigen Pumpstruktur (120, 124; 220, 224; 320, 324; 420, 424; 520, 523) eine Pumpstufe zu bilden. Um das Burstverhalten der Turbomolekularpumpe zu verbessern, wird vorgeschlagen, dass ein erstes Rotorteil (101; 201; 301; 401; 501) die erste Pumpstruktur und die zweite Pumpstruktur (123; 223; 323; 423; 523) umfasst und der Turbomekularpumpenrotor eine dritte Pumpstruktur (111, 115; 211, 215; 311, 315; 411, 415; 511, 515, 519) aufweist.

P10616PEPEP10007376.6Pfeiffer Vacuum GmbH

1. Ansprüche: 1-7
Turbomolekularpumpenrotor mit in [sic] einer ersten und zweiten Pumpstruktur, wobei jede Pumpstruktur geeignet und vorgesehen ist, mit einer statorseitigen Pumpstruktur eine Pumpstufe zu bilden, dadurch gekennzeichnet, dass ein erstes Rotorteil die erste Pumpstruktur und die zweite Pumpstruktur umfasst und der Turbomolekularpumpenrotor eine dritte Pumpstruktur aufweist.

2. Anspruch: 8
Rotorbauteil für einen Turbomolekularpumpenrotor, dadurch gekennzeichnet, dass es wenigstens zwei Pumpstrukturen und eine Ausnehmung aufweist und zum Verbinden mit einem eine weitere Pumpstruktur umfassendem Rotorbauteil angepasst ist.

1-71MN20150720F04DJP2002081397AEBARA CORP20020322X1,2,5-7* Zusammenfassung ** Absatz [0019] ** Absatz [0020] - Absatz [0021]; Abbildung 3 *DE102007048703A1OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH [DE]20090416X1-4,6,7* Absatz [0019] ** Absatz [0025] - Absatz [0030]; Abbildung 1 *EP2088325A2EBARA CORP [JP]20090812X,P1-3,5-7* Absatz [0027] - Absatz [0030]; Abbildung 1 *A,P4* Absatz [0038] - Absatz [0039] *EP2775149A1OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH [DE]20140910E1-3,5,6* Absatz [0014] - Absatz [0017]; Abbildung 1 *DE202005019644U1LEYBOLD VAKUUM GMBH [DE]20070426X1,5-7* Absatz [0019] ** Absatz [0022] - Absatz [0023]; Abbildung 2 *DE602004008089T2EDWARDS LTD [GB]20080417X1,5,6* Absatz [0023] - Absatz [0026]; Abbildung 2 *A7EP1128069A2PFEIFFER VACUUM GMBH [DE]20010829X1,5,7* Absatz [0013] - Absatz [0014]; Abbildung 1 *DE1950328A1SIEMENS AG19710401X1,5,6* Seite 4, Absatz 4 - Seite 5, Absatz 3; Abbildung 1 *Di Giorgio, FMunich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