(19)
(11) EP 2 295 939 A8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 A2)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
11.05.2011  Patentblatt  2011/19

(43) Veröffentlichungstag:
16.03.2011  Patentblatt  2011/11

(21) Anmeldenummer: 10005514.4

(22) Anmeldetag:  27.05.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01D 5/244(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME RS

(30) Priorität: 30.05.2009 DE 102009023515

(71) Anmelder:
  • Mehnert, Walter
    85521 Ottobrunn (DE)
  • Theil, Thomas, Dr.
    85258 Aufhausen (DE)

(72) Erfinder:
  • Mehnert, Walter
    85521 Ottobrunn (DE)
  • Theil, Thomas, Dr.
    85258 Aufhausen (DE)

(74) Vertreter: Strasser, Wolfgang 
Patentanwälte Strohschänk, Uri, Strasser & Keilitz Rosenheimer Landstrasse 87
85521 Ottobrunn
85521 Ottobrunn (DE)

 
Bemerkungen:
Die Patentansprüche 20-45 gelten als fallen gelassen, da die entsprechenden Anspruchsgebühren nicht entrichtet wurden (R. 45(3) EPÜ).
 


(54) Verfahren und Vorrichtung zur Ermittelung des Feinpositionswertes eines zu überwachenden Körpers


(57) Ein Verfahren zur Ermittlung des Feinpositionswertes (x(t)) eines zu überwachenden Körpers mit Hilfe von wenigstens zwei verschiedenen, sich mit Position des Körpers ändernden und diese in reproduzierbarer Weise darstellenden Sensor-Ausgangssignalen eines Positionsgebers, bei dem von den Sensor-Ausgangssignalen abgeleitete Signale (f(x(t)), g(x(t))) in einer Rechenschaltung (10) mit wenigstens zwei Referenzkurven verglichen werden, deren Werte in einem Vergleichswertspeicher (14) abgelegt sind, ist dadurch gekennzeichnet, dass in einem der Erstverwendung des Positionsgebers vorausgehenden Eichverfahren Fehlerkurven (δf(x), δg(x)) ermittelt werden, welche die Abweichungen eines jeden abgeleiteten Signals von entsprechenden Idealkurven darstellen, und dass in dem Vergleichswertspeicher die Werte von verzerrten Referenzkurven (Φ(y), Γ(y)) abgelegt werden, die durch Aufprägung von inversen Fehlerwerten, die sich aus den Fehlerkurven ergeben, auf die betreffenden idealen Referenzkurven (F(y); G(y)) gebildet sind.