(19)
(11) EP 2 297 381 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
18.03.2010

(43) Veröffentlichungstag:
23.03.2011  Patentblatt  2011/12

(21) Anmeldenummer: 09753841.7

(22) Anmeldetag:  25.05.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 18/12(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/056273
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/144186 (03.12.2009 Gazette  2009/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 30.05.2008 EP 08157333

(71) Anmelder:
  • BASF SE
    67056 Ludwigshafen (DE)
  • MPG Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
    80539 München (DE)

(72) Erfinder:
  • NORDMANN, Gero
    Charlotte NC 28277 (US)
  • WAGNER, Norbert
    67112 Mutterstadt (DE)
  • TRAUT, Alexander
    68169 Mannheim (DE)
  • BITTNER, Christian
    64625 Bensheim (DE)
  • MÜNSTER, Ingo
    67459 Böhl-Iggelheim (DE)
  • SMARSLY, Bernd
    35415 Pohlheim (DE)
  • WANG, Yude
    14476 Potsdam (DE)
  • ANTONIETTI, Markus
    14558 Bergholz-Rehbrücke (DE)
  • MASCOTTO, Simone
    35390 Gießen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TRANSPARENTEN LEITFÄHIGEN OXIDEN