(19)
(11) EP 2 300 630 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
19.06.2019  Patentblatt  2019/25

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
01.05.2019  Patentblatt  2019/18

(21) Anmeldenummer: 09757215.0

(22) Anmeldetag:  28.05.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 4/11(2016.01)
C23C 4/123(2016.01)
 C23C 4/129(2016.01)
C23C 4/134(2016.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/003797
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/146832 (10.12.2009 Gazette  2009/50)

(54)

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON THERMISCH GESPRITZTEN AL2O3-SCHICHTEN MIT EINEM HOHEN KORUNDGEHALT OHNE EIGENSCHAFTSMINDERNDE ZUSÄTZE

METHOD FOR THE PRODUCTION OF THERMAL SPRAYED AL2O3 LAYERS HAVING A HIGH CONTENT OF CORUNDUM WITHOUT ANY PROPERTY-REDUCING ADDITIVES

PROCÉDÉ DE FABRICATION DE COUCHES DE AL2O3 PULVÉRISÉES THERMIQUEMENT À HAUTE TENEUR EN CORINDON SANS ADDITIFS DIMINUANTES DES PROPRIETES DE LA COUCHE

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 30.05.2008 DE 102008026101

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
30.03.2011  Patentblatt  2011/13

(73) Patentinhaber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • TOMA, Filotheia-Laura
    01309 Dresden (DE)
  • BERGER, Lutz-Michael
    01187 Dresden (DE)
  • STAHR, Carl, Christoph
    63796 Kahl am Main (DE)
  • NAUMANN, Tobias
    01309 Dresden (DE)
  • LANGNER, Stefan
    01099 Dresden (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
EP-A- 0 621 079
DE-A1- 3 012 515
US-A- 4 487 841
 WO-A-2006/116844
GB-A- 2 073 169
   
  • SWINDEMAN C J ET AL: "An investigation of thermally-sprayed aluminum oxide coatings for high-temperature electrostatic chucks (ESCs)" SEMICONDUCTOR MANUFACTURING, 1995., IEEE/UCS/SEMI INTERNATIONAL SYMPOS IUM ON AUSTIN, TX, USA 17-19 SEPT. 1995, NEW YORK, NY, USA,IEEE, US, 17. September 1995 (1995-09-17), Seiten 226-232, XP010193407 ISBN: 978-0-7803-2928-7
   
Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).