(19)

(11)

EP 2 300 791 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 30.03.2011  Patentblatt  2011/13 (21) Anmeldenummer: 09757467.7 (22) Anmeldetag:  29.05.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01J 1/42(2006.01) G01J 5/20(2006.01) H01L 27/146(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2009/056603 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/147085 (10.12.2009 Gazette  2009/50)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 06.06.2008 DE 102008002270 (71) Anmelder: Robert Bosch GmbH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: THIEL, Michael 71229 Leonberg (DE) KALLMANN, Ulrich 72076 Tuebingen (DE) KUNDERMANN, Stefan CH-1006 Lausanne (CH)