(19)

(11)

EP 2 301 075 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 07.10.2010 (43) Veröffentlichungstag: 30.03.2011  Patentblatt  2011/13 (21) Anmeldenummer: 09769231.3 (22) Anmeldetag:  23.06.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 27/16(2006.01) H01L 35/34(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2009/057780 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/156382 (30.12.2009 Gazette  2009/53)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 25.06.2008 DE 102008030191 (71) Anmelder: Micropelt GmbH 79110 Freiburg (DE)	(72) Erfinder: NURNUS, Joachim 79395 Neuenburg (DE) VOLKERT, Fritz CH-4103 Bottmingen (CH) SCHUBERT, Axel 81543 München (DE) (74) Vertreter: Staroske, Sandro  Patentanwälte Maikowski & Ninnemann Postfach 15 09 20 10671 Berlin 10671 Berlin (DE)