(19)
(11) EP 2 304 773 A1

(12)

(43) Date de publication:
06.04.2011  Bulletin  2011/14

(21) Numéro de dépôt: 09761782.3

(22) Date de dépôt:  12.06.2009
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/20(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2009/057273
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2009/150220 (17.12.2009 Gazette  2009/51)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL BA RS

(30) Priorité: 13.06.2008 FR 0853943

(71) Demandeurs:
  • Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S)
    75016 Paris (FR)
  • Université Montpellier 2 Sciences et Techniques
    34000 Montpellier (FR)

(72) Inventeurs:
  • GIL, Bernard
    F-34090 Montpellier (FR)
  • BRIOT, Olivier
    F-34830 Jacou (FR)
  • MORET, Matthieu
    F-34070 Montpellier (FR)
  • RUFFENACH, Sandra
    F-34570 Montarnaud (FR)

(74) Mandataire: Ahner, Francis et al
Cabinet Régimbeau 20, rue de Chazelles
75847 Paris Cedex 17
75847 Paris Cedex 17 (FR)

   


(54) PROCEDE DE CROISSANCE DE NITRURE D'ELEMENTS DU GROUPE III