(19)
(11) EP 2 304 785 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.04.2011  Patentblatt  2011/14

(21) Anmeldenummer: 09777337.8

(22) Anmeldetag:  21.07.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/677(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/005288
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/009865 (28.01.2010 Gazette  2010/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 24.07.2008 DE 102008034505

(71) Anmelder: Singulus Stangl Solar GmbH
82256 Fürstenfeldbruck (DE)

(72) Erfinder:
  • STANGL, Wolfgang
    82223 Eichenau (DE)
  • DOLCH, Michael
    82223 Eichenau (DE)
  • MENSCHICK, Martin Maximilian
    81241 München (DE)

(74) Vertreter: Stöckeler, Ferdinand et al
Patentanwälte Schoppe, Zimmermann, Stöckeler, Zinkler & Partner Postfach 246
82043 Pullach
82043 Pullach (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM PROZESSIEREN UND HANDHABEN VON PROZESSGUT