VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG EINER GESAMT-LECKRATE EINER VAKUUMANLAGE SOWIE VAKUUMANLAGE - Patent 2310823

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EP 2 310 823 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	20.04.2011 Patentblatt 2011/16

(21)	Anmeldenummer: 09781528.6

(22)	Anmeldetag: 05.08.2009

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

G01M 3/20^(2006.01)

G01M 3/22^(2006.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2009/060169

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2010/015663 (11.02.2010 Gazette 2010/06)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL BA RS

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Priorität:

08.08.2008 DE 102008037058

(71)	Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
	50968 Köln (DE)

(72)	Erfinder:
	PALTEN, Thomas 50937 Köln (DE) WALTER, Gerhard Wilhelm 50169 Kerpen (DE) EHRENSPERGER, Damian CH-4057 Basel (CH)

(74)	Vertreter: von Kreisler Selting Werner
	Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE)

(54)	VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG EINER GESAMT-LECKRATE EINER VAKUUMANLAGE SOWIE VAKUUMANLAGE