(19)
(11) EP 2 316 005 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.05.2011  Patentblatt  2011/18

(21) Anmeldenummer: 09781170.7

(22) Anmeldetag:  28.07.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01F 1/84(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/059721
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/020525 (25.02.2010 Gazette  2010/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 21.08.2008 DE 102008039045

(71) Anmelder: Endress+Hauser Flowtec AG
4153 Reinach (CH)

(72) Erfinder:
  • KEITA, Mamadi
    CH-4053 Basel (CH)
  • SCHÜTZE, Christian
    CH-4055 Basel (CH)
  • GHEEWALA, Jenish
    CH-4153 Reinach (CH)

(74) Vertreter: Andres, Angelika Maria 
Endress+Hauser (Deutschland) AG+Co. KG PatServe Colmarer Strasse 6
79576 Weil am Rhein
79576 Weil am Rhein (DE)

   


(54) SENSOR IN MIKROMECHANISCHER BAUWEISE