(19)

(11)

EP 2 319 071 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 11.05.2011  Patentblatt  2011/19 (21) Anmeldenummer: 09778103.3 (22) Anmeldetag:  26.08.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/312(2006.01) C23C 18/12(2006.01) H01L 31/0216(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2009/006160 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2010/022916 (04.03.2010 Gazette  2010/09)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 28.08.2008 DE 102008044769 (71) Anmelder: Clariant Finance (BVI) Limited Road Town, Tortola (VG)	(72) Erfinder: RODE, Klaus 65207 Wiesbaden (DE) WIEZER, Hartmut 65817 Eppstein (DE) (74) Vertreter: Jacobi, Carola et al Clariant Produkte (Deutschland) GmbH Patent Management Am Unisys-Park 1 DE-65843 Sulzbach DE-65843 Sulzbach (DE)