(19)
(11) EP 2 319 072 A1

(12)

(43) Date de publication:
11.05.2011  Bulletin  2011/19

(21) Numéro de dépôt: 09741364.5

(22) Date de dépôt:  03.09.2009
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/324(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2009/051667
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2010/026343 (11.03.2010 Gazette  2010/10)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
AL BA RS

(30) Priorité: 05.09.2008 FR 0855969

(71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • GARANDET, Jean-Paul
    F-38000 Grenoble (FR)
  • CAMEL, Denis
    F-73000 Chambery (FR)
  • DREVET, Béatrice
    F-38000 Grenoble (FR)

(74) Mandataire: Le Coupanec, Pascale A.M.P. 
Nony & Associés 3, rue de Penthièvre
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) PROCEDE DE PREPARATION D'UNE COUCHE MINCE AUTO-SUPPORTEE DE SILICIUM CRISTALLISE