(19)

(11)

EP 2 319 076 A1

(12)

(43) Date de publication: 11.05.2011  Bulletin  2011/19 (21) Numéro de dépôt: 09782394.2 (22) Date de dépôt:  31.08.2009

(51) Int. Cl.:  H01L 21/768(2006.01) H01L 23/532(2006.01) H01L 23/522(2006.01) H01L 29/06(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2009/061203 (87) Numéro de publication internationale: WO 2010/023308 (04.03.2010 Gazette  2010/09)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: AL BA RS (30) Priorité: 01.09.2008 FR 0855852 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: GOISLARD DE MONSABERT, Thomas F-38330 Saint Ismier (FR) DEGUET, Chrystel F-38330 Saint Ismier (FR) DIJON, Jean F-38800 Champagnier (FR) KOSTRZEWA, Marek F-38100 Grenoble (FR) (74) Mandataire: Ilgart, Jean-Christophe et al BREVALEX 95 rue d'Amsterdam 75378 Paris Cedex 8 75378 Paris Cedex 8 (FR)