(19)
(11) EP 2 320 281 A3

(12) DEMANDE DE BREVET EUROPEEN

(88) Date de publication A3:
26.09.2012  Bulletin  2012/39

(43) Date de publication A2:
11.05.2011  Bulletin  2011/19

(21) Numéro de dépôt: 10189691.8

(22) Date de dépôt:  02.11.2010
(51) Int. Cl.: 
G04B 17/06(2006.01)
 G04B 29/02(2006.01)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME

(30) Priorité: 10.11.2009 CH 17292009

(71) Demandeur: Cartier Création Studio S.A.
1211 Genève (CH)

(72) Inventeurs:
  • Dubois, Marc-Alexandre
    1143, Apples (CH)
  • Baborowski, Jacek
    2012, Auvernier (CH)

(74) Mandataire: GLN 
Rue du Puits-Godet 8a
2000 Neuchâtel
2000 Neuchâtel (CH)

   


(54) Procédé de réalisation de pièces micromécaniques


(57) La présente invention concerne un procédé de réalisation d'au moins une pièce micromécanique en verre , comprenant les étapes suivantes :
- se doter d'un premier wafer de verre (10) présentant un coefficient de dilatation thermique inférieur à 5 x 10-6K-1,
- soudure d'un deuxième wafer de verre (14) présentant un coefficient de dilatation thermique inférieur à 5 x 10-6K-1, au premier wafer, par l'intermédiaire d'une couche d'accroche, ladite pièce étant destinée à être réalisée dans ledit deuxième wafer,
- croissance d'un masque métallique (16) sur le deuxième wafer,
- gravure traversante du deuxième wafer à travers le masque métallique, et
- libération de la pièce en dissolvant la couche d'accroche.







Rapport de recherche









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