(19)
(11) EP 2 321 844 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.05.2011  Patentblatt  2011/20

(21) Anmeldenummer: 09782212.6

(22) Anmeldetag:  26.08.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/677(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/060994
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/023221 (04.03.2010 Gazette  2010/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 01.09.2008 DE 102008045249
23.04.2009 DE 102009018700

(71) Anmelder: Singulus Technologies AG
63796 Kahl/Main (DE)

(72) Erfinder:
  • HUBER, Marco
    63739 Aschaffenburg (DE)
  • BECKER, Wolfgang
    64850 Schaafheim (DE)
  • BINKOWSKA, Patrick
    63825 Westerngrund (DE)
  • CORD, Bernhard
    63755 Alzenau (DE)
  • HOHN, Oliver
    63548 Gründau (DE)
  • KEMPF, Stefan
    63755 Alzenau (DE)
  • REISING, Michael
    63776 Mömbris (DE)
  • ROOS, Björn
    63579 Freigericht (DE)
  • RÜTH, Edgar
    63796 Kahl am Main (DE)
  • SICHMANN, Eggo
    63571 Gelnhausen (DE)
  • WOHLFART, Peter
    63796 Kahl am Main (DE)

(74) Vertreter: Vossius & Partner 
Siebertstrasse 4
81675 München
81675 München (DE)

   


(54) BESCHICHTUNGSANLAGE