(19)

(11)

EP 2 327 090 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 01.06.2011  Patentblatt  2011/22 (21) Anmeldenummer: 09782767.9 (22) Anmeldetag:  08.09.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/683(2006.01) H01L 21/60(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2009/061634 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2010/029075 (18.03.2010 Gazette  2010/11)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 09.09.2008 US 95417 P (71) Anmelder: Kulicke & Soffa Die Bonding GmbH 8572 Berg TG (CH)	(72) Erfinder: TRINKS, Joachim CH-9230 Flawil (CH)