(19)
(11)
EP 2 327 097 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
01.06.2011
Patentblatt 2011/22
(21)
Anmeldenummer:
09780585.7
(22)
Anmeldetag:
15.07.2009
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
H01L
23/532
(2006.01)
H01L
21/768
(2006.01)
H01L
21/316
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/059010
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/028885
(
18.03.2010
Gazette 2010/11)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS
(30)
Priorität:
15.09.2008
DE 102008042107
(71)
Anmelder:
Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)
(72)
Erfinder:
FIX, Richard
70839 Gerlingen (DE)
KUNZ, Denis
76316 Malsch (DE)
KRAUSS, Andreas
72072 Tuebingen (DE)
MARTIN, Alexander
70469 Stuttgart (DE)
(54)
ELEKTRONISCHES BAUTEIL SOWIE VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG