(19)
(11) EP 2 327 097 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
01.06.2011  Patentblatt  2011/22

(21) Anmeldenummer: 09780585.7

(22) Anmeldetag:  15.07.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 23/532(2006.01)
H01L 21/768(2006.01)
H01L 21/316(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/059010
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/028885 (18.03.2010 Gazette  2010/11)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 15.09.2008 DE 102008042107

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • FIX, Richard
    70839 Gerlingen (DE)
  • KUNZ, Denis
    76316 Malsch (DE)
  • KRAUSS, Andreas
    72072 Tuebingen (DE)
  • MARTIN, Alexander
    70469 Stuttgart (DE)

   


(54) ELEKTRONISCHES BAUTEIL SOWIE VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG