(19)
(11) EP 2 327 102 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
01.06.2011  Patentblatt  2011/22

(21) Anmeldenummer: 09778000.1

(22) Anmeldetag:  20.08.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/0224(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/006037
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/022889 (04.03.2010 Gazette  2010/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 29.08.2008 DE 102008044882

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • PREU, Ralf
    79117 Freiburg (DE)
  • GROHE, Andreas
    79108 Freiburg (DE)
  • BIRO, Daniel
    79106 Freiburg (DE)
  • RENTSCH, Jochen
    79312 Emmendingen (DE)
  • HOFMANN, Marc
    79288 Gottenheim (DE)
  • NEKARDA, Jan-Frederik
    79104 Freiburg im Breisgau (DE)
  • WOLF, Andreas
    79100 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Lemcke, Brommer & Partner 
Patentanwälte Bismarckstrasse 16
76133 Karlsruhe
76133 Karlsruhe (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR LOKALEN KONTAKTIERUNG UND LOKALEN DOTIERUNG EINER HALBLEITERSCHICHT