(19)

(11)

EP 2 331 294 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 15.06.2011  Patentblatt  2011/24 (21) Anmeldenummer: 09778204.9 (22) Anmeldetag:  29.08.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B24B 37/04(2006.01) H01L 21/66(2006.01) G01B 11/06(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2009/006275 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2010/037452 (08.04.2010 Gazette  2010/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 01.10.2008 DE 102008049973 (71) Anmelder: Peter Wolters GmbH 24768 Rendsburg (DE)	(72) Erfinder: GROTKOPP, Ingo 24105 Kiel (DE) KANZOW, Jörn 24103 Kiel (DE) MEYER, Jörg 24782 Rickert (DE) (74) Vertreter: Hauck Patent- und Rechtsanwälte  Neuer Wall 50 20354 Hamburg 20354 Hamburg (DE)