(19)
(11) EP 2 331 942 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.06.2011  Patentblatt  2011/24

(21) Anmeldenummer: 09778178.5

(22) Anmeldetag:  28.08.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 21/64(2006.01)
G01N 21/95(2006.01)
G01N 21/66(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/006247
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/022962 (04.03.2010 Gazette  2010/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 29.08.2008 DE 102008044881

(71) Anmelder:
  • Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
    80686 München (DE)
  • Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
    79098 Freiburg (DE)

(72) Erfinder:
  • WURFEL, Peter, Wilhelm
    76139 Karlsruhe (DE)
  • SCHUBERT, Martin
    79098 Freiburg (DE)
  • KASEMANN, Martin
    79211 Denzlingen (DE)
  • WARTA, Wilhelm
    79110 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Lemcke, Brommer & Partner 
Patentanwälte Bismarckstrasse 16
76133 Karlsruhe
76133 Karlsruhe (DE)

   


(54) MESSVERFAHREN FÜR EINE HALBLEITERSTRUKTUR