(19)
(11) EP 2 331 975 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.06.2011  Patentblatt  2011/24

(21) Anmeldenummer: 09781412.3

(22) Anmeldetag:  03.08.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01P 15/125(2006.01)
B81B 3/00(2006.01)
G01C 19/56(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/060019
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/034550 (01.04.2010 Gazette  2010/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 25.09.2008 DE 102008042351

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • MEISEL, Daniel Christoph
    71665 Vaihingen an der Enz (DE)
  • HAUER, Joerg
    72762 Reutlingen (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHER SENSOR