(19)
(11) EP 2 335 302 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.06.2011  Patentblatt  2011/25

(21) Anmeldenummer: 09748268.1

(22) Anmeldetag:  08.10.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 51/52(2006.01)
H01L 51/44(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/063130
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/040815 (15.04.2010 Gazette  2010/15)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 08.10.2008 DE 102008051656

(71) Anmelder: SK Holding GmbH & Co. KG
58809 Neuenrade (DE)

(72) Erfinder:
  • HOPPE, Harald
    98693 Manebach (DE)

(74) Vertreter: Engel, Christoph Klaus 
Engel Patentanwaltskanzlei Marktplatz 6
98527 Suhl/Thüringen
98527 Suhl/Thüringen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER METALLISCHEN ELEKTRODE ÜBER EINER METALLOXIDSCHICHT