(19)
(11) EP 2 344 282 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.07.2011  Patentblatt  2011/29

(21) Anmeldenummer: 09740158.2

(22) Anmeldetag:  27.10.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B08B 3/08(2006.01)
F04C 29/00(2006.01)
B08B 9/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/064122
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/049407 (06.05.2010 Gazette  2010/18)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 28.10.2008 DE 102008053522

(71) Anmelder:
  • Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
    50968 Köln (DE)
  • Oerlikon Solar AG, Trübbach
    9477 Trübbach (CH)

(72) Erfinder:
  • KANNEN, Ingo
    50969 Köln (DE)
  • GÖTTLICH, Hagen
    CH-7312 Pfäfers (CH)
  • SCHNEIDER, Stefan
    CH-7317 Valens (CH)

(74) Vertreter: Krüger, Florian 
Von Kreisler Selting Werner Patentanwälte Bahnhofsvorplatz 1
50667 Köln
50667 Köln (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM REINIGEN EINER VAKUUMPUMPE