(19)
(11) EP 2 347 134 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.07.2011  Patentblatt  2011/30

(21) Anmeldenummer: 09751922.7

(22) Anmeldetag:  13.11.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
F01D 21/04(2006.01)
F04D 29/52(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/065141
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/057834 (27.05.2010 Gazette  2010/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 20.11.2008 DE 102008058151

(71) Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • ENGLÄNDER, Heinrich
    52441 Linnich (DE)
  • HAß, Stefan
    50997 Köln (DE)
  • RICHTER, Michael
    51105 Köln (DE)
  • ROTH, Ishan
    53844 Troisdorf (DE)

(74) Vertreter: von Kreisler, Alek 
Von Kreisler Selting Werner Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1
50667 Köln
50667 Köln (DE)

   


(54) TURBOMOLEKULARPUMPE