(19)
(11) EP 2 351 090 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.08.2011  Patentblatt  2011/31

(21) Anmeldenummer: 09736393.1

(22) Anmeldetag:  24.09.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/0224(2006.01)
H01L 31/18(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/062372
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/049223 (06.05.2010 Gazette  2010/18)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 31.10.2008 DE 102008054166
20.02.2009 DE 102009009840

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70469 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • MACHALETT, Frank
    07751 Jena (DE)
  • DUPKE, Martin
    04129 Leipzig (DE)

   


(54) VERFAHREN, VORRICHTUNG UND DRUCKSUBSTANZ ZUR HERSTELLUNG EINER METALLISCHEN KONTAKTSTRUKTUR