(19)
(11) EP 2 356 700 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.08.2011  Patentblatt  2011/33

(21) Anmeldenummer: 09765105.3

(22) Anmeldetag:  07.12.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/18(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/066556
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/066693 (17.06.2010 Gazette  2010/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 08.12.2008 DE 102008063558

(71) Anmelder: Gebr. Schmid GmbH + Co.
72250 Freudenstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • HABERMANN, Dirk
    79199 Kirchzarten (DE)

(74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner 
Kronenstrasse 30
70174 Stuttgart
70174 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR BEARBEITUNG DER OBERFLÄCHE EINES WAFERS ZUR HERSTELLUNG EINER SOLARZELLE UND WAFER