(19)
(11) EP 2 359 386 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
24.08.2011  Patentblatt  2011/34

(21) Anmeldenummer: 09760728.7

(22) Anmeldetag:  13.11.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01K 1/24(2006.01)
H01L 21/00(2006.01)
H05B 3/00(2006.01)
H01K 1/44(2006.01)
H05B 3/48(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/008076
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/069438 (24.06.2010 Gazette  2010/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 19.12.2008 DE 102008063677

(71) Anmelder: Heraeus Noblelight GmbH
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • LINOW, Sven
    64285 Darmstadt (DE)

(74) Vertreter: Kühn, Hans-Christian 
Heraeus Holding GmbH Schutzrechte Heraeusstrasse 12-14
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) INFRAROTSTRAHLER-ANORDNUNG FÜR HOCHTEMPERATUR-VAKUUMPROZESSE