(19)

(11)

EP 2 359 397 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 24.08.2011  Patentblatt  2011/34 (21) Anmeldenummer: 09808983.2 (22) Anmeldetag:  14.12.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/673(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2009/001767 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2010/075841 (08.07.2010 Gazette  2010/27)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 16.12.2008 DE 102008062123 (71) Anmelder: Q-Cells SE 06766 Bitterfeld-Wolfen (DE)	(72) Erfinder: PETZOLD, Jörg 06847 Dessau (DE) WEGERT, Frank 06808 Holzweissig (DE) (74) Vertreter: Bedenbecker, Markus  Feldstrasse 22 82131 Gauting 82131 Gauting (DE)