(19)
(11) EP 2 368 261 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.10.2010

(43) Veröffentlichungstag:
28.09.2011  Patentblatt  2011/39

(21) Anmeldenummer: 09759679.5

(22) Anmeldetag:  24.11.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/677(2006.01)
 H01L 21/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/008349
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/057673 (27.05.2010 Gazette  2010/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 24.11.2008 DE 102008058805

(71) Anmelder: ASYS AUTOMATIC SYSTEMS GMBH & CO. KG
73614 Schorndorf (DE)

(72) Erfinder:
  • HÜGLER, Klaus
    73630 Remshalden (DE)

(74) Vertreter: Wittner, Walter et al
Meissner, Bolte & Partner Patentanwälte Am Ochsenberg 16
73614 Schorndorf
73614 Schorndorf (DE)

   


(54) BEARBEITUNGSSYSTEM, INSBESONDERE FÜR EINE REINRAUM-BEARBEITUNGSANLAGE, SOWIE UMSETZVORRICHTUNG HIERFÜR