(19)
(11) EP 2 368 272 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.09.2011  Patentblatt  2011/39

(21) Anmeldenummer: 09768511.9

(22) Anmeldetag:  26.11.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/0224(2006.01)
 H01L 21/28(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/065868
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/060944 (03.06.2010 Gazette  2010/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 28.11.2008 DE 102008037613

(71) Anmelder: Schott Solar AG
55122 Mainz (DE)

(72) Erfinder:
  • HORZEL, Jörg
    63755 Alzenau (DE)
  • SCHUBERT, Gunnar
    78467 Konstanz (DE)
  • DAUWE, Stefan
    63825 Blankenbach (DE)
  • ROTH, Peter
    63450 Hanau (DE)
  • DROSTE, Tobias
    64285 Darmstadt (DE)
  • SCHMIDT, Wilfried
    74193 Schwaigern (DE)
  • ERNST, Ingrid
    63796 Kahl (DE)

(74) Vertreter: Stoffregen, Hans-Herbert 
Patentanwalt Friedrich-Ebert-Anlage 11b
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES METALLKONTAKTS AUF EINEM MIT EINER SCHICHT VERSEHENEN HALBLEITERSUBSTRAT