(19)
(11) EP 2 370 780 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.10.2011  Patentblatt  2011/40

(21) Anmeldenummer: 09759965.8

(22) Anmeldetag:  02.12.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 11/12(2006.01)
G01B 11/30(2006.01)
G01B 11/24(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/066271
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/063775 (10.06.2010 Gazette  2010/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 05.12.2008 DE 102008060621

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • GLASENAPP, Carsten
    73447 Oberkochen (DE)

(74) Vertreter: Geyer, Fehners & Partner 
Patentanwälte Sellierstrasse 1
07745 Jena
07745 Jena (DE)

   


(54) OPTISCHE ANORDNUNG ZUM BERÜHRUNGSLOSEN MESSEN ODER PRÜFEN EINER KÖRPEROBERFLÄCHE