(19)
(11) EP 2 373 969 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.10.2011  Patentblatt  2011/41

(21) Anmeldenummer: 09774907.1

(22) Anmeldetag:  15.12.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01M 3/20(2006.01)
G01M 3/22(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/067196
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/079055 (15.07.2010 Gazette  2010/28)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 08.01.2009 DE 102009004363

(71) Anmelder: Inficon GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • BOHN, Martin
    42285 Wuppertal (DE)
  • ROLFF, Norbert
    50169 Kerpen (DE)
  • PUCHALLA, Jochen
    50129 Bergheim (DE)
  • DAUENHAUER, Michael
    50937 Köln (DE)

(74) Vertreter: von Kreisler, Alek 
Von Kreisler Selting Werner Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1
50667 Köln
50667 Köln (DE)

   


(54) LECKDETEKTIONSVERFAHREN