(19)
(11) EP 2 374 159 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
16.12.2010

(43) Veröffentlichungstag:
12.10.2011  Patentblatt  2011/41

(21) Anmeldenummer: 09763962.9

(22) Anmeldetag:  03.12.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/18(2006.01)
H01L 31/068(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/066291
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/066626 (17.06.2010 Gazette  2010/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 12.12.2008 DE 102008055515

(71) Anmelder: Schott Solar AG
55122 Mainz (DE)

(72) Erfinder:
  • HORZEL, Jörg
    63755 Alzenau (DE)
  • FRANKE, Dieter
    NL-6291 BL Vaals (NL)
  • BLENDIN, Gabriele
    63571 Gelnhausen (DE)
  • JAHN, Marco
    55124 Mainz (DE)
  • SCHMIDT, Wilfried
    74193 Schwaigern (DE)

(74) Vertreter: Stoffregen, Hans-Herbert 
Patentanwalt Dipl.-Phys. Dr. Hans-Herbert Stoffregen Friedrich-Ebert-Anlage 11 b
D-63450 Hanau
D-63450 Hanau (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM AUSBILDEN EINES DOTIERSTOFFPROFILS