(19)
(11) EP 2 374 168 A1

(12)

(43) Date de publication:
12.10.2011  Bulletin  2011/41

(21) Numéro de dépôt: 09806178.1

(22) Date de dépôt:  18.12.2009
(51) Int. Cl.: 
H01L 39/24(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2009/001449
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2010/076429 (08.07.2010 Gazette  2010/27)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorité: 18.12.2008 FR 0807113

(71) Demandeur: Centre National de la Recherche Scientifique
75794 Paris Cedex 16 (FR)

(72) Inventeurs:
  • ODIER, Philippe
    F-38640 Claix (FR)
  • MORLENS, Stéphanie
    F-38100 Grenoble (FR)
  • MILLON, Cyril
    F-38100 Grenoble (FR)
  • PETIT, Sarah
    F-69100 Villeurbanne (FR)
  • CAROFF, Tristan
    F-38330 Montbonnot St. Martin (FR)
  • JIMENEZ, Carmen
    F-38000 Grenoble (FR)
  • SOUBEYROUX, Jean-Louis
    F-38340 Voreppe (FR)
  • ALLAIS, Arnaud
    F-69006 Lyon (FR)
  • RIKEL, Mark
    50354 Huerth (DE)

(74) Mandataire: Schmidt, Martin Peter 
IXAS Conseil 15, rue Emile Zola
69002 Lyon
69002 Lyon (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE DÉPÔT DE FILMS D'OXYDES MINCES SUR DES SURFACES MÉTALLIQUES TEXTURÉES COURBÉES