(19)

(11)

EP 2 376 670 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 19.10.2011  Patentblatt  2011/42 (21) Anmeldenummer: 09805907.4 (22) Anmeldetag:  09.12.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/56(2006.01) H01L 21/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2009/001729 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2010/078860 (15.07.2010 Gazette  2010/28)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 09.01.2009 DE 102009004493 (71) Anmelder: Sovello Ag 06766 Bitterfeld-Wolfen (DE)	(72) Erfinder: WILLERS, Guido 06132 Halle (DE) (74) Vertreter: von den Steinen, Axel  Advotec. Patent- und Rechtsanwälte Beethovenstrasse 5 97080 Würzburg 97080 Würzburg (DE)