PROCEDE DE DESCENTE EN PRESSION DANS UN SAS DE CHARGEMENT ET DE DECHARGEMENT ET EQUIPEMENT ASSOCIE - Patent 2377151

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EP 2 377 151 A1

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(43)	Date de publication:
	19.10.2011 Bulletin 2011/42

(21)	Numéro de dépôt: 09805742.5

(22)	Date de dépôt: 18.12.2009

(51)

Int. Cl.:

H01L 21/677^(2006.01)
C23C 14/00^(2006.01)

H01L 21/00^(2006.01)

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR2009/052607

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2010/070240 (24.06.2010 Gazette 2010/25)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

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Priorité:

19.12.2008 FR 0807191

(71)	Demandeur: Adixen Vacuum Products
	74009 Annecy (FR)

(72)	Inventeurs:
	BOUNOUAR, Julien F-74009 Annecy (FR) FORAY, Jean-marie F-74000 Annecy-le-Vieux (FR)

(74)	Mandataire: Croonenbroek, Thomas Jakob et al
	Cabinet Innovincia 11, avenue des Tilleuls 74200 Thonon-les-Bains 74200 Thonon-les-Bains (FR)

(54)	PROCEDE DE DESCENTE EN PRESSION DANS UN SAS DE CHARGEMENT ET DE DECHARGEMENT ET EQUIPEMENT ASSOCIE