(19)
(11) EP 2 380 188 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.10.2011  Patentblatt  2011/43

(21) Anmeldenummer: 09751771.8

(22) Anmeldetag:  10.10.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2009/001403
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/043200 (22.04.2010 Gazette  2010/16)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 13.10.2008 DE 102008051520

(71) Anmelder: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH
14109 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • ELMER, Klaus
    12683 Berlin (DE)
  • BRUNKEN, Stephan
    13551 Berlin (DE)
  • MIENTUS, Rainald
    12623 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER (001)-TEXTURIERTEN KRISTALLSCHICHT AUS EINEM PHOTOAKTIVEN SCHICHTGITTER-HALBLEITER AUF EINER METALLISCH LEITFÄHIGEN SCHICHT UNTER BETEILIGUNG EINES METALLPROMOTERS