(57) Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpstufe (100; 610) mit einem Einlass (104; 604),
einem Auslass (106; 606), einem Rotor (112; 212; 312) und einem Kanal (108; 208; 308),
wobei der Rotor mit einem Rotorabschnitt in den Kanal eintaucht und durch Zusammenwirken
von Rotorabschnitt und Kanal eine Pumpwirkung erreicht wird, und mit einem zwischen
Einlass und Auslass angeordneten Abstreifer (110). Um eine Vakuumpumpstufe bereitzustellen,
die sowohl im viskosen als auch im molekularen Strömungsbereich Kompression und Saugvermögen
besitzt, wird vorgeschlagen, dass der Rotorabschnitt Gestaltungselemente (114, 116;
214; 314, 340) aufweist, durch die die Pumpwirkung im molekularen Strömungsbereich
nach Gaede und im höheren Druckbereich nach dem Seitenkanalprinzip bewirkt wird.
|

|