(19)

(11)

EP 2 394 290 A1

(12)

(43) Date de publication: 14.12.2011  Bulletin  2011/50 (21) Numéro de dépôt: 10701685.9 (22) Date de dépôt:  29.01.2010

(51) Int. Cl.:  H01J 49/32(2006.01) H01J 49/06(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2010/051101 (87) Numéro de publication internationale: WO 2010/089260 (12.08.2010 Gazette  2010/32)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorité: 06.02.2009 FR 0950764 (71) Demandeur: Cameca 92230 Genneviliiers (FR)	(72) Inventeur: DE CHAMBOST, Emmanuel F-91470 Limours (FR) (74) Mandataire: Collet, Alain et al Marks & Clerk France Conseils en Propriété Industrielle Immeuble " Visium " 22, avenue Aristide Briand 94117 Arcueil Cedex 94117 Arcueil Cedex (FR)