(19)

(11)

EP 2 394 305 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 14.04.2011 (43) Veröffentlichungstag: 14.12.2011  Patentblatt  2011/50 (21) Anmeldenummer: 10721925.5 (22) Anmeldetag:  09.02.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/0224(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2010/000148 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2010/088898 (12.08.2010 Gazette  2010/32)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 09.02.2009 DE 102009008152 (71) Anmelder: ATOTECH Deutschland GmbH 10553 Berlin (DE)	(72) Erfinder: BECKER, Mike 28357 Bremen (DE) LÜTKE NOTARP, Dietmar 50858 Köln (DE) (74) Vertreter: Wonnemann, Jörg  Atotech Deutschland GmbH Patent- und Markenabteilung Erasmussstraße 20 10553 Berlin 10553 Berlin (DE)