(19)

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EP 2 396 611 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 09.12.2010 (43) Veröffentlichungstag: 21.12.2011  Patentblatt  2011/51 (21) Anmeldenummer: 10703225.2 (22) Anmeldetag:  26.01.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F25D 19/00(2006.01) F17C 3/08(2006.01) G01J 5/06(2006.01) H01L 31/024(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/000423 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2010/091779 (19.08.2010 Gazette  2010/33)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 14.02.2009 DE 102009009001 (71) Anmelder: GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung GmbH 64291 Darmstadt (DE)	(72) Erfinder: ENGERT, Tobias 69518 Absteinach (DE) KOJOUHAROV, Ivan 55270 Zornheim (DE) GERL, Jürgen 63128 Dietzenbach (DE) (74) Vertreter: Rück, Dorothee Maria  GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung GmbH Planckstraße 1 D-64291 Darmstadt D-64291 Darmstadt (DE)