(19)

(11)

EP 2 396 806 A1

(12)

(43) Date de publication: 21.12.2011  Bulletin  2011/51 (21) Numéro de dépôt: 10703478.7 (22) Date de dépôt:  12.02.2010

(51) Int. Cl.:  H01J 49/40(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2010/051764 (87) Numéro de publication internationale: WO 2010/092141 (19.08.2010 Gazette  2010/33)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorité: 13.02.2009 FR 0950955 (71) Demandeur: Cameca 92230 Genneviliiers (FR)	(72) Inventeur: YAVOR, Mikhaïl Saint-Petersbourg 197372 (RU) (74) Mandataire: Collet, Alain et al Marks & Clerk France Conseils en Propriété Industrielle Immeuble " Visium " 22, avenue Aristide Briand 94117 Arcueil Cedex 94117 Arcueil Cedex (FR)